濕電子化學品是指在集成電路、液晶顯示器、太陽能電池、LED制造工藝中被大量使用的液體化學品。隨著集成電路制作要求的提高,對工藝中所需的濕電子化學品純度的要求也不斷提高。從趨勢上看,滿足納米級集成電路加工需求是超凈高純試劑今后發展方向之一。
在濕電子化學品生產中,氟樹脂主要用于四大領域:
——濕電子化學品生產中鋼襯PFA/PTFE設備
鋼襯PFA/PTFE設備分為塔器、罐體、管道和泵閥等,其特點在于不光是鋼制容器強度高,而且在強腐蝕介質的工況下仍能保證-80℃~200℃的溫度區間應用。致密的PFA/PTFE層保證其適用大部分電子化學品生產工況。
鋼襯PFA/PTFE容器可分為模壓、板襯、噴涂等工藝,視不同工況可以選擇不同的內襯工藝,成品使用需通過標準離子浸出實驗;電子化學品生產成品包裝、儲存、運輸一般采用更嚴格的超純PFA襯里設備。目前PFA樹脂主要生產廠家為科慕(杜邦)、大金、旭硝子等國外廠商。PTFE樹脂國內廠商有東岳、巨化等,并且開始有少量試生產PFA樹脂。
——濕電子化學品精餾用PFA/PTFE分離填料
PFA/PTFE分離填料具有通量大、效率高等特點,常用于超純物系的吸收和精餾。該系列規整填料通過浙江工業大學化學工程研究所的測試,其分離效率在中等噴淋密度時與同樣比表面積的金屬規整填料相比低7.8%;在模擬計算和實際設計的時候,精餾塔比相類似的金屬塔要略高;PFA/PTFE鮑爾環和拉西環等散堆填料,在吸收時用的比較多,例如用于SO3吸收制超純硫酸工藝。
——濕電子化學品精餾提純用主要內構件
PFA/PTFE管式、槽盤式分布器、復合支撐和除霧器等,這些內構件對汽液平衡、汽液均勻分布具有不可或缺的作用,特別是除沫器和除霧器的應用對霧沫夾帶和微小液滴(3μm以下)起著重要作用。3μm以下的需要采用纖維除霧器去除。這也是精餾提純電子化學品的關鍵步驟之一。
——濕電子化學品生產中的熱交換設備
列管式PFA/PTFE換熱器較強的耐蝕防老化性能和超潔凈性能,使其應用于化工、酸洗、電鍍、醫藥和電子化學品等行業。由于其耐溫性能較佳(-80℃~180℃),既適用于普通換熱及冷卻,亦適用于蒸汽加熱。
隨著氟塑原材料生產技術和管材加工技術的提高,目前四氟管管壁厚度達到0.3~1.0mm,加之無垢下熱阻,在液液、汽液傳熱中總傳熱系數比較高,總傳熱系數約200~300W/m2 ℃。與金屬列管式換熱器相比較,因采用毛細管,單位體積換熱面積大約1.5倍,換熱效率與同體積的金屬換熱器相當。